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化合物半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7263197

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本發(fā)明提供。具體地,提供一種AlGaN/GaN?HEMT,其包括化合物半導(dǎo)體層;形成在化合物半導(dǎo)體層的上側(cè)的源電極和漏電極;以及Al-Si-N層,該Al-Si-N層為設(shè)置在源電極和漏電極中的至少一個(gè)電極的下部中并且電阻值比源電極和漏電極的電阻值高的高電阻層。專利說(shuō)明[0001]本文所討論的實(shí)施方案涉及。背景技術(shù)[0002]已經(jīng)考慮通過(guò)利用氮化物半導(dǎo)體的特性(如高飽和電子速度和寬帶隙)來(lái)將氮化物半導(dǎo)體應(yīng)用到高耐壓和高功率的半導(dǎo)體器件。例如,作為氮化物半導(dǎo)體的...
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