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低成本的垂直結(jié)構(gòu)發(fā)光二極管芯片及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7263484

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本發(fā)明公開了一種,其結(jié)構(gòu)包括基板層,生長襯底上的外延層被轉(zhuǎn)移至所述基板層之上;基板層與外延層之間,由上至下依次有阻擋保護層、稀釋保護層和黏結(jié)層;N電極位于外延層之上。它利用由多種金屬或合金的疊層構(gòu)成的稀釋保護層和阻擋保護層,克服了低成本、低熔點金屬作為黏結(jié)層材料存在的抗腐蝕能力差、擴散能力強等易破壞發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)及光電性能等問題,從而可代替貴金屬作為熱壓黏合材料,一方面極大減低了垂直式發(fā)光二極管的制備成本,另一方面較低的熱壓溫度及壓力,減小熱壓自身的殘余應(yīng)...
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