技術(shù)編號(hào)：7264409
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明揭露一種用于通過檢驗(yàn)技術(shù)判斷半導(dǎo)體重疊工藝窗口的方法及系統(tǒng)，其中，精密半導(dǎo)體裝置中重疊區(qū)的形成是一項(xiàng)無法基于習(xí)知測(cè)量及設(shè)計(jì)策略有效率地予以評(píng)估的關(guān)鍵態(tài)樣。為此，本揭露提供測(cè)量技術(shù)及系統(tǒng)，其中上覆裝置圖案轉(zhuǎn)換成相同材料層，藉以形成通過建立良好的缺陷檢驗(yàn)技術(shù)而可接取的組合圖案。一旦幾何性地調(diào)制這些組合圖案中的一些組合圖案，即可達(dá)成重疊工藝窗口的系統(tǒng)性評(píng)估。專利說明用于通過檢驗(yàn)技術(shù)判斷半導(dǎo)體重疊工藝窗口的方法及系統(tǒng)[0001]本揭露涉及制造如集成電路的微結(jié)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。