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基板清潔裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7264728

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提供一種基板清潔裝置。該基板清潔裝置包括用于傳送基板的多個(gè)傳送滾筒;將液體化學(xué)物供應(yīng)到所述基板的第一表面的液體化學(xué)物供給器;其中所述液體化學(xué)物供給器包括殼體和清潔滾筒,該清潔滾筒被能旋轉(zhuǎn)地安裝在所述殼體內(nèi)并且具有被配置為接觸所述基板的上部分。專(zhuān)利說(shuō)明基板清潔裝置[0001 ] 本公開(kāi)涉及基板清潔裝置。背景技術(shù)[0002]在顯示設(shè)備中,平坦且薄的平板顯示器包括液晶顯示器(IXD)、等離子顯示設(shè)備、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器等。[0003]平板顯示器包括...
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