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Esd防護(hù)器件及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7265871

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本發(fā)明揭示了一種ESD防護(hù)器件及其制備方法,包括提供襯底,在所述襯底上形成柵極結(jié)構(gòu);在所述柵極兩側(cè)的襯底中形成溝槽,位于漏極處的溝槽尺寸小于位于源極處的溝槽尺寸;在所述溝槽中填充應(yīng)力層;對(duì)所述應(yīng)力層進(jìn)行摻雜。由此方法制得的ESD防護(hù)器件,能夠有效的降低ESD防護(hù)器件的觸發(fā)電壓,有效地提升了ESD防護(hù)器件的性能。專利說(shuō)明£50防護(hù)器件及其制備方法 [0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體,特別是涉及一種230防護(hù)器件及其制備方法。 背景技術(shù) [0002]在集成...
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