技術(shù)編號：7266041
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種電容耦合等離子體處理裝置中的噴頭電極組件，具體涉及用在電容耦合等離子體處理裝置中包括傳熱板的噴頭電極組件。該傳熱板具有獨立可控的氣體容積空間，該氣體容積空間可被增壓以局部控制加熱器構(gòu)件和冷卻構(gòu)件之間的熱導率，使得可在噴頭電極組件的暴露于等離子體的表面上形成均勻的溫度。專利說明電容耦合等離子體處理裝置中的噴頭電極組件[0001]本發(fā)明涉及等離子體處理裝置，其中傳熱板用來控制被支撐在電容耦合等離子體處理裝置中的噴頭電極組件的溫度均勻性。背景技術(shù)...
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