技術編號：7314256
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種使用壓電薄膜的致動器，特別涉及一種使用壓電致動器的微機電器件。背景技術 近來，通過微機電系統(tǒng)(MEMS)技術來制造致動器已經(jīng)引起了關注。在致動器中，通過驅動力，例如靜電力、熱應力、電磁力和壓電力，使橫梁彎曲并移位。在公開號為No.2003-181800的已公開的日本專利申請中，連接到使用壓電薄膜的致動器自由端上的軸被轉動。而且，已經(jīng)提出了使用致動器的微機電器件，例如可變電容器和開關。通過MEMS技術制造的可變電容器或開關包括可移動電極和固定電...
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