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一種永磁電磁相結(jié)合的磁懸浮直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7337323

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本發(fā)明涉及一種直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái),特別是涉及一種永磁電磁相結(jié)合的磁懸浮直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái),該磁懸浮直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可應(yīng)用于類(lèi)似半導(dǎo)體光刻機(jī)、芯片鍵合運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等高速、超潔凈、超精密定位運(yùn)動(dòng)平臺(tái)中。背景技術(shù)現(xiàn)代制造技術(shù)正朝著高速化、精密化和模塊化方向發(fā)展,信息等高新技術(shù)制造業(yè)不僅對(duì)加工設(shè)備性能如定位的精度和速度提出了越來(lái)越高的要求,而且對(duì)生產(chǎn)制作環(huán)境同樣提出了越來(lái)越嚴(yán)格的要求,如光電子器件、半導(dǎo)體芯片等微電子產(chǎn)品均要求在超潔凈環(huán)境下完成加工制作。在微電子封裝設(shè)備如共晶粘片機(jī)、...
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