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一種限制電場型平板電流體動(dòng)力微泵及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7356073

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本發(fā)明公開了。微泵由PCB電極片和頂蓋通過硅膠膠粘而成,所述的PCB電極片是通過PCB絲網(wǎng)印刷,沉金,松香油涂覆,超精密磨削工藝加工制作。由于對(duì)電極對(duì)側(cè)面產(chǎn)生的電場進(jìn)行了限制,使得電場集中于電極表面,離子的拖拽作用都在電極表面完成,避免了電極結(jié)構(gòu)對(duì)流體運(yùn)動(dòng)的阻擋,大幅提高電流體動(dòng)力泵的動(dòng)力效果。同時(shí),采用PCB絲網(wǎng)印刷技術(shù)作為基礎(chǔ),不但提升了電流體動(dòng)力泵極片的生產(chǎn)效率,還可大幅降低微泵制造成本,鍍金層不但可以為電極提供良好的抗腐蝕能力,延長電極的使用壽命,...
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