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一種限制電場型平板電流體動力微泵的制作方法技術資料下載

技術編號:7368123

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本實用新型公開了一種限制電場型平板電流體動力微泵,微泵由PCB電極片和頂蓋通過硅膠膠粘而成,所述的PCB電極片是通過PCB絲網印刷,沉金,松香油涂覆,超精密磨削工藝加工制作。由于對電極對側面產生的電場進行了限制,使得電場集中于電極表面,離子的拖拽作用都在電極表面完成,避免了電極結構對流體運動的阻擋,大幅提高電流體動力泵的動力效果。同時,采用PCB絲網印刷技術作為基礎,不但提升了電流體動力泵極片的生產效率,還可大幅降低微泵制造成本,鍍金層不但可以為電極提供良...
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