技術(shù)編號：743891
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及安全防護(hù)領(lǐng)域，特別涉及一種可避免氣密防護(hù)服使用時(shí)面罩霧 化的方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，諸多工序均會使用到有毒有害的化學(xué)品，例如蝕刻工 序會用到氯氣對金屬進(jìn)行蝕刻，離子注入工序中會用到磷烷或砷烷等，化學(xué)氣相沉積工序會用到硅烷和氨氣來生成氮化硅，清洗x序中會用到氫氧化鉀、鹽酸和氫氟酸等化學(xué)溶液。上述化學(xué)品中對人體危害較大的化學(xué)品例如氯氣、硅 烷、磷烷和砷烷出現(xiàn)意外泄露時(shí)，救護(hù)人員需先穿戴具有壓縮空氣瓶的空氣呼 吸器，然后穿好氣密防護(hù)服才能進(jìn)入泄...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。