技術(shù)編號(hào)：7441195
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種機(jī)械的裝置，具體是一種多軸直接驅(qū)動(dòng)磁力傳遞裝置。背景技術(shù) 為了提高產(chǎn)率和良品率，半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的前端集束型設(shè)備大量使用真空機(jī)器人在各制程模塊和卡匣間傳遞晶圓。而真空機(jī)器人最核心的技術(shù)就是如何把動(dòng)力從大氣環(huán)境傳輸?shù)秸婵窄h(huán)境。目前，在不同介質(zhì)中傳遞動(dòng)力主要有兩類磁流體密封技術(shù)和磁力聯(lián)軸器技術(shù)，而通過把動(dòng)態(tài)密封轉(zhuǎn)化為靜態(tài)密封的磁力聯(lián)軸器更加適用于高真空和高潔凈度的環(huán)境。其主要原理是利用驅(qū)動(dòng)元件帶動(dòng)磁力聯(lián)軸器的主動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)軸與從動(dòng)軸非接觸，通過分...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。