技術(shù)編號：7446624
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于固定一板狀物體如基底的靜電吸附(ESC)臺，以及包括該ESC臺的基底加工裝置。一般來說，ESC臺包括一個施加了吸附電壓的吸附電極，和一個被施加于吸附電極上的電壓極化的電介質(zhì)板。被固定的基底與電介質(zhì)板接觸，并且被產(chǎn)生在電介質(zhì)板表面的靜電吸附。ESC臺被用來夾住基底以使它們穩(wěn)定。在加工過程中，如果在ESC臺上的一個基底被錯位或改變位置，它將導致降低加工均勻性和加工重現(xiàn)性的問題。由于加工的均勻性和加工的重現(xiàn)性，ESC臺的熱變形和熱膨脹在基底加工...
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