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技術(shù)編號：7507287

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本發(fā)明涉及一種微型機(jī)械式靜電振子，特別涉及適合作為具有使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)形成于基板上的振動體的高頻振子的微型機(jī)械式靜電振子的結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 近年來，隨著全球性高度信息化社會的到來，個人用途的移動電話的普及和以因特網(wǎng)為介質(zhì)的新型業(yè)務(wù)的誕生等通信、多媒體市場正在實(shí)現(xiàn)飛越性發(fā)展。其中，可以說起到信息化時代的帶頭作用的移動電話的功能不僅僅是單純的電話功能。例如，在聲音、文字、靜態(tài)圖像的基礎(chǔ)上，高品質(zhì)...
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該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。

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