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技術(shù)編號(hào)：7509715

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本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體基板上將IC區(qū)域和表面聲波元件區(qū)域構(gòu)成為一個(gè)芯片的表面聲波裝置的制造方法及表面聲波裝置。背景技術(shù) 由于以SAW(表面聲波)諧振器或者SAW濾波器為代表的表面聲波元件具有高頻、小型、可批量生產(chǎn)等優(yōu)良特征，所以被廣泛應(yīng)用于通信領(lǐng)域。近年來，由于便攜式通信設(shè)備等的普及，強(qiáng)烈要求在高頻域使用的部件的小型化、輕量化。面對(duì)這種要求，例如如非專利文獻(xiàn)1所示，提出了下述的表面聲波裝置的方案不是將表面聲波元件作為濾波器單體來使用，而是在其一部分上形成有高頻...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
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