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或非門邏輯電路及其形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7514453

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本發(fā)明涉及化合物半導(dǎo)體材料和器件領(lǐng)域,尤其是涉及一種基于背柵氧化鋅納米線場效應(yīng)晶體管的直接耦合場效應(yīng)邏輯(Direct-coupledFETLogic, 簡稱DCFL)的。背景技術(shù)ZnO是一種n - VI族直接帶隙的新型多功能化合物半導(dǎo)體材料,被稱為 第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料。ZnO晶體為纖鋅礦結(jié)構(gòu),禁帶寬度約為3.37eV, 激子束縛能約為60meV。 ZnO具備半導(dǎo)體、光電、壓電、熱電、氣敏和透明 導(dǎo)電等特性,在傳感、聲、光、電等諸多領(lǐng)域有著廣闊的潛在應(yīng)...
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