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技術(shù)編號：7520899

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本發(fā)明涉及一種聲波器件。特別是涉及一種具有一個或多個聲波諧振器的聲波器 件及其制作方法，這些聲波諧振器利用在基底和壓電層之間形成的質(zhì)量負(fù)載層來減小修正 工序?qū)|(zhì)量負(fù)載效應(yīng)的影響，并且/或者優(yōu)化聲波器件的特性。背景技術(shù)移動通信產(chǎn)品，例如移動電話和手持設(shè)備，正迅速向小型化和輕便化發(fā)展。這樣的 產(chǎn)品需要射頻(RF)濾波器的頻率范圍大致覆蓋0. 5GHz IOGHz以保護(hù)接收的信號不受干 擾影響，其中干擾信號可能來自于同一個手持設(shè)備中的發(fā)射器或者來自外部形成的非需...
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