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振動片、振子、振動器件以及電子設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7522215

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本發(fā)明涉及振動片、振子、振動器件以及電子設(shè)備。 背景技術(shù)作為石英振蕩器等的振動器件,公知具有音叉型振動片的振動器件,該音叉型振動片具有多個振動臂(例如參照專利文獻1)。例如,專利文獻1所記載的振動片具有基部;從該基部起彼此平行地延伸的3個振動臂;以及在各振動臂上按順序依次形成下部電極膜、壓電體膜和上部電極膜而構(gòu)成的壓電體元件。在這種振動片中,各壓電體元件對下部電極膜與上部電極膜之間施加電場,由此使壓電體層伸縮,使振動臂在基部的厚度方向(所謂的面外方向)上進...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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