技術(shù)編號：7529976
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及應(yīng)用于等離子體處理腔的射頻功率源(RF power suppliers)和匹配網(wǎng)絡(luò)(matching networks),特別涉及一種射頻匹配電路及多重頻率等離子體處理腔。背景技術(shù)在本領(lǐng)域中，利用雙重或多重射頻頻率的等離子體處理腔已被熟知。一般地，雙重頻率的等離子體處理腔接收的射頻偏置功率(RF bias power)具有低于大約15MHz的頻率，其接收的射頻源功率(RF source power)具有更高的頻率，通常為27 200MHZ。在...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習。