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寬帶聲耦合薄膜baw濾波器的制作方法技術資料下載

技術編號:7532335

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本發(fā)明涉及根據(jù)權利要求1的前序部分所述的寬帶聲耦合薄膜體聲波(BAW)濾波器。背景技術在無線電領域如移動電話、無線網(wǎng)絡、衛(wèi)星定位等中廣泛使用基于微聲學和薄膜技術的射頻(RF)元器件,例如諧振器和濾波器。它們相比于對應的集總元件的優(yōu)點包括小的尺寸和可大規(guī)模生產(chǎn)的能力。用于射頻器件的兩種基本的微聲技術是表面聲波(SAW)技術和體聲波(BAW)技術。在這一部分中將簡單地介紹現(xiàn)有的濾波器技術以便提供本發(fā)明的背景。表面聲波器件在圖1a中示出了 SAW器件的示意圖。在...
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