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基于耦合baw諧振器的雙工器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7537766

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本發(fā)明一般地涉及體聲波諧振器和濾波器,更特別地涉及在濾波器和雙工器中使用的體聲波平衡-不平衡轉(zhuǎn)換器(balun)。背景技術(shù) 已知的是體聲波(BAW)器件一般包括在用作為電極的兩個導(dǎo)電層之間夾入的壓電層。當(dāng)射頻(RF)信號施加于器件上時,它在壓電層中產(chǎn)生機械波。當(dāng)機械波的波長約兩倍于壓電層的厚度時出現(xiàn)基本諧振。盡管BAW器件的諧振頻率也依賴于其它因素,但是壓電層的厚度是確定諧振頻率的主導(dǎo)因素。隨著壓電層厚度減少,諧振頻率增加。BAW器件傳統(tǒng)上一直是在石英晶體...
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