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技術(shù)編號(hào)：7539955

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本發(fā)明涉及利用微波發(fā)生的等離子體對(duì)半導(dǎo)體晶片等被處理體進(jìn) 行處理的等離子體處理裝置和該等離子體處理裝置所使用的微波發(fā)生 裝置、微波供給裝置和微波發(fā)生方法。背景技術(shù)一般，在形成半導(dǎo)體集成電路時(shí)，對(duì)半導(dǎo)體晶片等被處理體進(jìn)行 成膜處理、改性處理、氧化擴(kuò)散處理、蝕刻處理等各種處理。關(guān)于半 導(dǎo)體集成電路形成時(shí)堆積的薄膜，因?yàn)樵膭?dòng)作速度高速化的要求 等理由，有在配線部要求較低的介電常數(shù)的薄膜的傾向，有在晶體管的柵極部或DRAM的電容器部要求較高的介電常數(shù)的薄膜的傾...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無(wú)完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。

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