技術(shù)編號：7546607
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基于絕緣材料振動塊的MEMS諧振器，屬于電子科學(xué)。包括一個(gè)絕緣材料振動塊，振動塊采用四個(gè)支撐錨點(diǎn)架空于基片上，任意兩個(gè)支撐錨點(diǎn)之間的振動塊側(cè)邊沉積導(dǎo)電材料形成換能電容內(nèi)電極，四個(gè)支撐錨點(diǎn)上分別具有一個(gè)直流驅(qū)動電壓輸入端，四個(gè)輸入輸出端口分別通過一段導(dǎo)電材料與一個(gè)換能電容外電極相連。本發(fā)明采用絕緣材料制作振動塊，使得諧振器輸入的電信號無法直接經(jīng)由直通電容而傳輸至輸出端，而是經(jīng)過電-機(jī)-電的轉(zhuǎn)換過程，從而盡量降低了直通電容的影響，提高了諧振器的能量轉(zhuǎn)換效率，使...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。