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技術(shù)編號：75940

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件的制造領(lǐng)域，尤其涉及金屬半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的制造方 法。背景技術(shù)金屬半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(Metal-Semiconductor-Field-Effect-Transistor， MESFET)是一種常見的晶體管，在現(xiàn)代半導(dǎo)體裝置中大量使用。MESFET具有與金屬氧化物 半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(Metal-0xide4emiconductor-Field-Effect-Transistor，M0SFE) 相似的電流-電壓特性。然而在器件的柵極部分，MESFET利用金屬-半導(dǎo)體的肖特基接觸 取代...
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