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技術(shù)編號：75941

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導體器件的制造領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬半導體場效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)金屬半導體場效應(yīng)晶體管(Metal-Semiconductor-Field-Effect-Transistor， MESFET)是一種常見的晶體管，在現(xiàn)代半導體裝置中大量使用。MESFET具有與金屬氧化物半導體場效應(yīng)晶體管(Metal-0xide4emiconductor-Field-Effect-Transistor，M0SFE) 相似的電流-電壓特性。然而在器件的柵極部分，MESFET利用金屬-半導體的肖特基接觸取代了 M...
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