技術(shù)編號：7601648
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及麥克風系統(tǒng)，特別涉及一種寬頻帶微機械加工的(mircromachined)電容式麥克風系統(tǒng)(下稱微電容式麥克風系統(tǒng))。背景技術(shù)日前興起的電容式微超聲換能器(capacitor Micromachined UltrasonicTransducers，cMUT)已成為壓電式換能器的一種重要的替代品。它可以提供一組范圍更寬的參數(shù)來優(yōu)化換能器的性能，并易于制造及電子集成。這種超聲換能器的制造及操作已被眾多刊物及專利所揭露。例如，美國專利5,619,4...
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