技術(shù)編號(hào):7637704
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及固體攝像裝置、其制造方法及攝像機(jī),特別是涉及以高成 品率制造固體攝像裝置的技術(shù)。10背景技術(shù)近年來,廣泛普及的固體攝像裝置具備濾色片用于色分離。圖9是表示現(xiàn)有技術(shù)的固體攝像裝置的像素部分的截面圖。如圖9所 示,半導(dǎo)體攝像裝置9在半導(dǎo)體襯底901上依次形成柵絕緣膜903、轉(zhuǎn)移 電極903、層間絕緣膜905、遮光膜906、層間絕緣膜907、平坦化膜卯8、 15凸部909及單片濾色片910。另外,在半導(dǎo)體襯底901的層間絕緣層907側(cè)形成受光區(qū)域902...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。