技術(shù)編號：7751913
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電器件，具體地說，本發(fā)明涉及一種具有分割電極的電容傳聲器。背景技術(shù)MEMS電容傳聲器(也稱硅微電容傳聲器)是一種采用硅微加工工藝制作的新型傳聲器。與傳統(tǒng)的駐極體傳聲器相比，它具有體積小、易于批量生產(chǎn)、一致性好且適合表面貼 裝等優(yōu)點?？捎糜谑謾C、數(shù)碼相機、語音耳機等各種消費電子產(chǎn)品中，也可以用于助聽器等 高端聲學儀器中。MEMS電容傳聲器由形成硅微電容的硅芯片部分和外圍電路部分組成。其中硅微 電容芯片部分是傳聲器的核心，硅微電容芯片部分通常由硅...
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