技術(shù)編號：7755945
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種集成半導體元件的制造方法及其結(jié)構(gòu)，且特別是有關(guān)于一種 整合半導體工藝及微機電系統(tǒng)工藝的集成半導體元件的制造方法及其結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)麥克風的設(shè)計例如是揭露于美國專利案US 5，490，220中。麥克風的 訊號處理需要半導體零件形式的集成電路，而常用的微機電系統(tǒng)麥克風通常并入一般封裝 件。因此，此種微機電系統(tǒng)麥克風具有混合的零件。另一種可能性為整合微機電系統(tǒng)麥克 風與集成電路零件于單一模塊中。然而，在此情況下需要相當大的硅或半導體面積...
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