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技術(shù)編號(hào)：7759114

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本發(fā)明涉及一種硅微電容傳聲器，特別涉及一種改進(jìn)的傳聲器芯片結(jié)構(gòu)及其制備方法。背景技術(shù) 硅微電容傳聲器由形成硅微電容的硅芯片部分和外圍電路部分組成，其中硅芯片部分由硅基片及其上的穿孔(聲學(xué)孔)背板、空氣隙、隔離層、振動(dòng)膜、金屬膜及金屬電極組成。通常的硅微電容傳聲器由于受制作方式的限制，一般空氣隙、隔離層、振動(dòng)膜均為方形的，如Micro Electro Mechanical Systems(MEMS)，1998 IEEE11th International W...
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