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麥克風模塊及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7801723

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本申請涉及一個麥克風模塊,其包括,包括半導體芯片且上表面具有凹槽的封裝體,和電連接至所述封裝體的微機電麥克風。另外,所述微機電麥克風被置于所述封裝體的上表面。所述凹槽構(gòu)成所述微機電麥克風的聲學后腔。專利說明 [0001] 本申請涉及電子模塊和組件,并且更具體的涉及包括微機電麥克風的模塊和組 件。 背景技術(shù) [0002] 半導體器件制造商正在不斷努力提高其產(chǎn)品的通用性和性能,同時降低其制造成 本。半導體器件制造工藝中的一個重要組成部分是對器件的封裝...
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