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Mems麥克風(fēng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7871728

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種聲電轉(zhuǎn)換裝置,具體地說涉及一種MEMS麥克風(fēng)。背景技術(shù)近年來利用MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))工藝集成的MEMS麥克風(fēng)開始被批量應(yīng)用到手機(jī)、筆記本電腦等電子產(chǎn)品中,這種MEMS麥克風(fēng)的耐高溫效果較好,可以經(jīng)受住SMT的高溫考驗(yàn),因此受到大部分麥克風(fēng)生產(chǎn)商的青睞。 如圖I所示,常規(guī)的MEMS麥克風(fēng)包括由線路板I和外殼2組成的封裝結(jié)構(gòu),所述封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)部所述線路板I表面上設(shè)有MEMS聲電芯片3和ASIC芯片4,所述MEMS聲電芯片3、所述ASIC芯片4以及線路板I之間通過金屬線5電連接,所述封裝結(jié)構(gòu)上...
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