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Mems麥克風(fēng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7880272

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技術(shù)領(lǐng)域MEMS麥克風(fēng)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及聲電轉(zhuǎn)換器技術(shù)領(lǐng)域,更為具體地,涉及一種MEMS麥克風(fēng)。背景技術(shù)隨著社會的進(jìn)步和技術(shù)的發(fā)展,近年來,隨著手機(jī)、筆記本電腦等電子產(chǎn)品體積不斷減小,人們對這些便攜電子產(chǎn)品的性能要求也越來越高,從而也要求與之配套的電子零件的體積不斷減小、性能和一致性不斷提高。在這種背景下,作為上述便攜電子產(chǎn)品的重要零件之一的麥克風(fēng)產(chǎn)品領(lǐng)域也推出了很多的新型產(chǎn)品,其中以MEMS麥克風(fēng)為代表。[0003]對于雙外殼結(jié)構(gòu)的MEMS麥克風(fēng),包括第一外殼和套設(shè)在所述第一外殼外部的第二外殼,所...
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