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Mems麥克風(fēng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7882818

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及電聲產(chǎn)品技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種MEMS麥克風(fēng)。背景技術(shù)隨著電子技術(shù)的快速發(fā)展,MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))麥克風(fēng)以其體積小、便于SMT(表面貼裝技術(shù))安裝、耐高溫、穩(wěn)定性好、自動(dòng)化程度高和適合大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)得到了越來越廣泛的應(yīng)用?,F(xiàn)有技術(shù)中的MEMS麥克風(fēng)通常包括外殼以及與外殼結(jié)合為一體的PCB(印刷電路板)板體,在PCB板體的內(nèi)側(cè)設(shè)有金線連接的MEMS芯片和ASIC (專用集成電路)芯片,在PCB板體上對(duì)應(yīng)MEMS芯片和ASIC芯片的位置設(shè)有聲腔,聲腔與MEMS芯片相通。這種結(jié)構(gòu)的MEMS...
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