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技術(shù)編號：7883169

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技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及傳聲器技術(shù)領(lǐng)域，特別地，涉及一種MEMS傳聲器。背景技術(shù)MEMS麥克風(fēng)是米用微機電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems,MEMS)工藝制作的microphone。其中，麥克風(fēng)又稱傳聲器。這種新型麥克風(fēng)內(nèi)含兩個芯片一MEMS芯片和專用集成電路(ASIC)芯片，兩枚芯片封裝在一個表面貼裝器件封裝體中。MEMS芯片包括一個剛性穿孔背電極和一片用作電容器的彈性硅膜。該彈性硅膜將聲波轉(zhuǎn)換為電容變化。ASIC芯片用于檢測電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為電信號輸出。MEMS麥克風(fēng)與傳統(tǒng)電...
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