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具有晶須探針的懸臂和制造該懸臂的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8022275

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及形成細(xì)懸臂的裝置和方法,該細(xì)懸臂用于原子力顯微鏡和其它顯微鏡裝置中。原子力顯微鏡(以后簡稱為AFM)是一種探針儀器,這種探針儀器包括含有一個(gè)支架、一根桿和一個(gè)尖探針的懸臂,所述探針放置在所述桿上并至少在一維上具有原子的尺度。懸臂在固體表面的上方移動(dòng),并通過記錄所涉及到的各種力(范德華力、靜電力、磁力等各種力)給出它們的圖象。在這種儀器中,儀器的靈敏度和圖象的質(zhì)量決定性地取決于整個(gè)懸臂的特性和參數(shù)、以及探針的特性和參數(shù),而首要取決于它的具體形狀。已知用于AFM的一種懸臂(“記錄針”),在這種懸臂中,...
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