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微波等離子體反應(yīng)腔的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8022382

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于微波等離子體激發(fā)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及高氣壓下(>104Pa)微波等離子體 反應(yīng)腔體的設(shè)計(jì)。背景技術(shù)等離子體在新材料、微電子等工業(yè)和生物研究等領(lǐng)域有很強(qiáng)的實(shí)用價(jià)值,特別是利用 微波激發(fā)等離子體的方式,相對(duì)其它的等離子體激發(fā)方式而言,等離子體的存在空間較大, 帶電粒子密度較高,在高氣壓環(huán)境下(>104Pa)相對(duì)均勻,有很大的應(yīng)用拓展空間。目前,普通的微波等離子體反應(yīng)腔一般采用單一或混合的微波模式使等離子體團(tuán)產(chǎn)生 于不同腔體的內(nèi)部,由于設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的不同,產(chǎn)生的等離子體的形態(tài)也不同,但其性質(zhì)基本 ...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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