技術(shù)編號：8022724
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及膜圖形的形成方法和器件的制造方法、光電裝置和電子設(shè)備、有源矩陣基板的制造方法。 背景技術(shù) 例如光刻法被用在有布線的電子電路和集成電路等的器件制造中。該光刻法為把被稱為抗蝕劑的感光性材料涂覆到預(yù)先涂覆了導(dǎo)電膜的基板上，照射電路圖形使之顯影，通過對應(yīng)抗蝕劑圖形蝕刻導(dǎo)電膜、形成布線圖形。該光刻法需要用到真空裝置等大型設(shè)備和復(fù)雜的工序，另外，材料使用效率也是以百分之幾的程度，不得不廢棄幾乎所有的材料，制造成本高。對此，在如美國特許第5132248號說明書中，有如下方法的提案使用從液體噴頭噴出液滴狀功能液的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。