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檢測(cè)等離子體工藝異常的頻率監(jiān)控的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8029054

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用于檢測(cè)與變頻射頻(RF)電源耦合的RF驅(qū)動(dòng)的等離子 體工藝腔室內(nèi)的異常情況的裝置和方法,尤其涉及用于制造例如電子顯示器或 半導(dǎo)體電路的電子工件的工藝腔室。背景技術(shù)通過(guò)在各種工藝腔室中執(zhí)行一系列的工藝步驟來(lái)制造例如電子平板顯示 器和半導(dǎo)體集成電路的電子器件。這些工藝步驟通常包括在等離子體工藝腔室 中執(zhí)行的步驟,例如在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積腔室或等離子體濺射腔室中 執(zhí)行的沉積步驟,或者在等離子體蝕刻腔室中執(zhí)行的蝕刻歩驟。將任何在等離 子體存在于腔室內(nèi)時(shí)用于執(zhí)行制造電子器件的歩驟的該腔室認(rèn)為是等...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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