技術(shù)編號：8029358
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉以及III族元素氮化物結(jié)晶制造裝置以及III族元素氮化物結(jié)晶制造方法。背景技術(shù) 氮化鎵(GaN)等III族元素氮化物化合物半導體(以下往往稱之為“III族氮化物半導體”或“GaN系半導體”)，作為發(fā)出藍色和紫外光的半導體元件的材料而備受關(guān)注。藍色激光二極管(LD)可應用于高密度光盤和顯示器，而藍色發(fā)光二極管(LED)可應用于顯示器和照明等。另外，紫外線LD期待著應用于生物技術(shù)等，而紫外線LED期待著作為熒光燈的紫外線光源。LD和LED用III族氮化物半導體基板(例如GaN基板)，一般采用氣相外延生長...
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