技術(shù)編號：8030124
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及具有放電燈并且可以在長時間內(nèi)射出均勻照度的光 的光源裝置以及使用這樣的光源裝置的膝光裝置。背景技術(shù)在半導體制造工藝或印刷基板制作工藝中的光致抗蝕劑(photoresist)的膝光工藝等利用光來進行物的加工的工業(yè)工藝中， 使用放電燈的光源裝置被廣泛使用。在這樣的工業(yè)工藝中使用的光源 裝置特別要求"可以在長時間內(nèi)射出均勻照度的光"，但光源裝置中使 用的放電燈隨著使用時間變長而劣化從而照度降低，因此不容易滿足 這樣的要求。因此，以前進行了為了滿足該要求的研究，作為其成果，專利文 獻l的光源裝置是已知的。...
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