技術(shù)編號(hào)：8035369
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域的一種直拉法硅單晶生長(zhǎng)用的籽晶夾持裝置。 背景技術(shù)硅單晶作為一種半導(dǎo)體材料，主要用于光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域，大部分半導(dǎo)體硅單晶 都是采用CZ直拉法生產(chǎn)。CZ直拉法是利用旋轉(zhuǎn)籽晶從盛有硅熔體的坩堝中提拉制備單晶 的一種方法，它是通過(guò)發(fā)熱體對(duì)承載固態(tài)多晶硅原料部分加熱，待其熔化完成，固液界面穩(wěn) 定后，將夾持器夾持的柱狀籽晶浸入溶液，通過(guò)旋轉(zhuǎn)使熔體中的硅原子順著籽晶硅原子結(jié) 構(gòu)進(jìn)行有規(guī)則的排列，形成單晶體后緩慢提升，熔體中的硅原子沿著已經(jīng)生長(zhǎng)好的單晶體 繼續(xù)結(jié)晶，并延續(xù)其規(guī)則的原子結(jié)構(gòu)排列...
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