技術(shù)編號(hào)：8042158
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種將二氧化硅作為主要構(gòu)成成分的，特別關(guān)于一種低成本、高尺寸精確度、及高耐熱性的的。背景技術(shù)二氧化硅玻璃，是被使用作為大規(guī)模集成電路(LSI)制造用投影曝光裝置(微影裝置)的透鏡、棱鏡、光罩或顯示器用TFT基板、燈用管、窗材、反射板、半導(dǎo)體工業(yè)用洗凈容器、二氧化硅半導(dǎo)體熔融容器等。然而，作為這些二氧化硅玻璃的原料，必須采用昂貴的四氯化硅等化合物，另外，因?yàn)槎趸璨ＡУ娜廴跍囟然蚣庸囟确浅８?，大約為2000°C， 所以能源消耗量大且成本很高。因此，先前以來(lái)，考慮各種各樣的二氧化硅玻璃的制造方法。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。