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用于大規(guī)模氨熱制造氮化鎵晶棒的裝置和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8044493

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及晶體生長材料的處理。更具體地,本發(fā)明提供一種通過氨堿性或氨酸性方法來大規(guī)模制造含鎵氮化物晶體和/或晶棒的設(shè)備和方法等。這種晶體和材料包括但不限于GaN、AlN、InN, InGaN, AlGaN和AlInGaN,以及用于制造塊體或圖案化襯底的其它材料。這種塊體或圖案化的襯底可用于各種應(yīng)用,包括光電子器件、激光器、發(fā)光二極管、太陽能電池、光電化學(xué)水分解和氫生產(chǎn)、光電檢測(cè)器、集成電路和晶體管以及其它器件。背景技術(shù)包含氮化鎵的晶體材料用作制造常規(guī)光電子器件例如藍(lán)色發(fā)光二極管和激光器的起始點(diǎn)。這種光電...
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