技術(shù)編號：8044854
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)的技術(shù)領(lǐng)域，具體為多晶硅鑄錠爐的三段式熱 場。背景技術(shù)多晶硅鑄錠爐主要用于以鑄錠方式生產(chǎn)硅半導體材料，現(xiàn)有的多晶硅鑄錠爐采用 兩段式熱場結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)見圖1，一段是上部保溫部分，它分為四周可上下移動保溫部分1， 四周加熱器2，頂部加熱器3，頂部固定式保溫部分4 ；另一段是下部保溫板5，頂部固定式保 溫部分4安裝有朝下出氣的進氣管8，硅錠生長時，四周可上下移動保溫部分1向上運動，露 出定向凝固塊6下部，使其向下散熱，從而使坩堝7內(nèi)的液態(tài)硅凝固并向上生長。由于四周 可上下移動保溫部分1...
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