技術(shù)編號(hào)：8046381
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶體生長(zhǎng)爐及其安全排氣閥。背景技術(shù)晶體的制造過程處在高溫狀態(tài)下， 熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，由于晶體安裝原因可能導(dǎo)致與晶體生長(zhǎng)爐的爐腔內(nèi)壁接觸，產(chǎn)生電擊打火損壞腔體而漏水。還有一種情況是由于石英坩堝漏硅，損壞腔體材料而漏水。由于腔體損壞而漏出的水在高溫中急劇蒸發(fā)膨脹，極其危險(xiǎn)，因此需要把高溫高壓的水蒸氣通過排氣閥進(jìn)行釋放，以緩解晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)的壓力。如圖I所示，目前的排氣閥一般包括盲板3，盲板3通過螺栓6可滑動(dòng)的設(shè)置在真空管道I的法蘭2上，并且在螺栓6上套設(shè)有將盲板3壓緊在法...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。