技術(shù)編號：8046670
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種高溫爐用工裝，具體地說是一種坩堝，特別是涉及一種炭素材料組合坩堝的組合方法及組合坩堝。背景技術(shù)目前，單晶爐拉制單晶硅棒時，盛裝多晶硅塊等原料的石英坩堝放入位于堝托之上的坩堝內(nèi)，在保護性氣氛中加熱熔化，調(diào)控到工藝溫度后，籽晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入熔融多晶硅液中，坩堝放在堝托上由其下的堝托軸帶動一同旋轉(zhuǎn)，同時，籽晶也逆向旋轉(zhuǎn)并向上提升， 使多晶硅液按籽晶的硅原子排列順序結(jié)晶凝固成單晶硅棒。在單晶硅棒拉制過程中，爐內(nèi)溫度高達1500°C左右，此時，石英坩堝變軟，要靠外面的坩堝承托，拉晶后殘留的石英坩堝常緊貼坩...
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