技術(shù)編號(hào)：8047358
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及單晶硅的制造技術(shù)，更具體地說，涉及一種。背景技術(shù)光伏行業(yè)中，光伏電池是基于半導(dǎo)體材料制作的發(fā)電系統(tǒng)的基本單元，而單晶硅是光伏電池非常重要的一種基材。目前，制作硅單晶的最主要的方法為直拉法(CZ法)制備硅單晶(直拉硅單晶)， 直拉硅單晶的方法是以一塊具有所需要晶向的單晶硅作為籽晶，將熔化了的半導(dǎo)體級(jí)硅液在籽晶上生長硅單晶的，生長的硅單晶就像是籽晶的復(fù)制品，具有和籽晶相同的晶向，硅單晶棒是直拉硅單晶方法形成的終端產(chǎn)品。直拉硅單晶是在直拉單晶爐中進(jìn)行的，單晶爐中主要有熱場系統(tǒng)、石英坩堝以及單晶拉伸和轉(zhuǎn)動(dòng)...
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