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長(zhǎng)晶裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8048610

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種加熱裝置,特別是指一種成長(zhǎng)晶體用的長(zhǎng)晶裝置。背景技術(shù)晶棒的質(zhì)量好壞取決于晶體成長(zhǎng)過(guò)程、原料純度等因素,而其中,長(zhǎng)晶裝置的設(shè)計(jì)對(duì)熔融的長(zhǎng)晶原料所提供的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)對(duì)于之后的長(zhǎng)晶界面(grain interface)、長(zhǎng)晶初期的晶體成核(nucleation)、長(zhǎng)晶過(guò)程中晶粒大小(grain size)等都有直接的影響,并攸關(guān)最終制作出的晶棒質(zhì)量,因此,在長(zhǎng)晶裝置方面的研究發(fā)展一直是業(yè)界所關(guān)注的命題之一。參閱圖1,目前的長(zhǎng)晶裝置I包含一用于容放長(zhǎng)晶原料100的坩堝11、一環(huán)繞所述坩堝11外側(cè)設(shè)置并可相...
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