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泡生法藍寶石晶體生長的溫度控制系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8049576

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種泡生法藍寶石晶體生長的溫度控制系統(tǒng)。 背景技術(shù)現(xiàn)有的泡生法藍寶石晶體普遍的采用電壓控制、電流控制、功率控制等方式來控制藍寶石晶體生長。采用這些方式控制的對象,如電壓、電流,都受到很多外部的干擾,控制模型偏離理論的、有效的晶體生長狀況較大。功率控制模型在理論上較為接近晶體生長狀況,但仍然受到各方面的因素制約較多。譬如受傳感器的精度限制;電網(wǎng)電壓的過沖、波動干擾,電壓補償?shù)牟黄ヅ?、環(huán)境溫度變化等,會造成晶體生長部分階段的不可控性。溫度控制長晶,其目標是直指晶體生長所需溫度參數(shù)。模型更能接近理論的、...
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